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光刻胶（Photoresist）是一种对光敏感的高分子材料，主要用于光刻工艺中，通过光化学反应实现图案的转移，是半导体、集成电路（IC）、印刷电路板（PCB）、液晶显示（LCD）等制造领域的材料之一。
光刻胶特性与组成
• 光敏性：在特定波长（如紫外光、极紫外光EUV等）照射下，会发生化学结构变化（如交联或分解），从而改变在显影液中的溶解性。
• 主要成分：
◦ 树脂（成膜剂）：形成基础膜层，决定光刻胶的机械和化学性能。
◦ 光敏剂：吸收光能并引发化学反应（如光分解、光交联）。
◦ 溶剂：调节粘度，便于涂覆成膜。
◦ 添加剂：改善性能（如感光度、分辨率、对比度等）。
吉田质量管控与认证壁垒。天津紫外光刻胶工厂
吉田半导体的自研产品已深度融入国内半导体产业链：
- 芯片制造：YK-300 光刻胶服务中芯国际、长江存储，支持国产 14nm 芯片量产。
- 显示面板：YK-200 LCD 光刻胶市占率达 15%，成为京东方、华星光电战略合作伙伴。
- 新能源领域：无卤无铅焊片通过 UL 认证，批量应用于宁德时代储能系统，年供货量超 500 吨。
- 研发投入：年研发费用占比超 15%，承担国家 02 专项课题，获 “国家技术发明二等奖”。
- 产能规模：光刻胶年产能 5000 吨，纳米压印光刻胶占全球市场份额 15%。
- 质量体系：通过 ISO9001、IATF 16949 等认证，生产过程执行 8S 管理，批次稳定性达 99.5%。
技术优势：23年研发沉淀与细分领域突破
全流程自主化能力
吉田在光刻胶研发中实现了从树脂合成、光引发剂制备到配方优化的全流程自主化。例如，其纳米压印光刻胶通过自主开发的树脂体系，实现了3μm的分辨率，适用于MEMS传感器、光学器件等领域。
技术壁垒：公司拥有23年光刻胶研发经验，掌握光刻胶主要原材料（如树脂、光酸）的合成技术，部分原材料纯度达PPT级。
细分领域技术先进
◦ 纳米压印光刻胶：在纳米级图案化领域（如量子点显示、生物芯片）实现技术突破，分辨率达3μm，填补国内空缺。
◦ LCD光刻胶：针对显示面板行业需求，开发出高感光度、高对比度的光刻胶，适配AMOLED、Micro LED等新型显示技术。
研发投入与合作
公司2018年获高新技术性企业认证，与新材料领域同伴们合作开发半导体光刻胶，计划2025年启动半导体用KrF光刻胶研发。
感光机制
◦ 重氮型（双液型）：需混合光敏剂（如二叠氮二苯乙烯二磺酸钠），曝光后通过交联反应固化，适用于精细图案（如PCB电路线宽≤0.15mm）。
◦ SBQ型（单液型）：预混光敏剂，无需调配，感光度高（曝光时间缩短30%），适合快速制版（如服装印花）。
◦ 环保型：采用无铬配方（如CN10243143A），通过多元固化体系（热固化+光固化）实现12-15mJ/cm²快速曝光，分辨率达2μm，符合欧盟REACH标准。
功能细分
◦ 耐溶剂型：如日本村上AD20，耐酒精、甲苯等溶剂，适用于电子油墨印刷。
◦ 耐水型：如瑞士科特1711，抗水性强，适合纺织品水性浆料。
◦ 厚版型：如德国Köppen厚版胶，单次涂布可达50μm，用于立体印刷。
典型应用场景：
• PCB制造：使用360目尼龙网+重氮感光胶，配合LED曝光（405nm波长），实现0.15mm线宽，耐酸性蚀刻液。
• 纺织印花：圆网制版采用9806A型感光胶，涂布厚度20μm，耐碱性染料色浆，耐印率超10万次。
• 包装印刷：柔版制版选用杜邦赛丽® Lightning LFH版材，UV-LED曝光+无溶剂工艺，碳排放降低40%。
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全品类覆盖与定制化能力
吉田半导体的光刻胶产品覆盖芯片光刻胶、纳米压印光刻胶、LCD光刻胶等全品类，适用于半导体、显示面板、MEMS等多个领域。例如，其LCD正性光刻胶YK-200和水油光刻胶JT-2001可满足0.45μm及以上线宽需求，支持客户定制化工艺参数，尤其在柔性显示（OLED）和Mini/Micro LED等新兴领域表现突出。
技术亮点：通过自主研发的树脂配方和光敏剂体系，实现了高分辨率（120nm）和高抗蚀性的平衡，部分指标（如线宽粗糙度LWR<3nm）接近国际主流产品水平。
国产化材料与工艺适配
公司采用进口原材料+本地化生产模式，关键树脂单体、光敏剂等主要成分通过德国默克、日本信越等供应商采购，同时建立了超纯提纯工艺（杂质含量<1ppm），确保产品稳定性。此外，其光刻胶与国内主流光刻机（如上海微电子SSA800）、匀胶显影机（如盛美上海）的兼容性已通过验证，缩短客户工艺调试周期。
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定义与特性
正性光刻胶是一种在曝光后，曝光区域会溶解于显影液的光敏材料，形成与掩膜版（Mask）图案一致的图形。与负性光刻胶（未曝光区域溶解）相比，其优势是分辨率高、图案边缘清晰，是半导体制造（尤其是制程）的主流选择。
化学组成与工作原理
主要成分
• 树脂（成膜剂）：
◦ 传统正性胶：采用**酚醛树脂（Novolak）与重氮萘醌（DNQ，光敏剂）**的复合体系（PAC体系），占比约80%-90%。
◦ 化学增幅型（用于DUV/EUV）：含环化烯烃树脂或含氟聚合物，搭配光酸发生器（PAG），通过酸催化反应提高感光度和分辨率。
• 溶剂：溶解树脂和感光剂，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯。
• 添加剂：表面活性剂（改善涂布均匀性）、稳定剂（防止暗反应）、碱溶解度调节剂等。
工作原理
• 曝光前：光敏剂（如DNQ）与树脂结合，形成不溶于碱性显影液的复合物。
• 曝光时：
◦ 传统PAC体系：DNQ在紫外光（G线436nm、I线365nm）照射下发生光分解，生成羧酸，使曝光区域树脂在碱性显影液中溶解性增强。
◦ 化学增幅型：PAG在DUV/EUV光下产生活性酸，催化树脂发生脱保护反应，大幅提高显影速率（灵敏度提升10倍以上）。
• 显影后：曝光区域溶解去除，未曝光区域保留，形成正性图案。
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